體積流量：也叫工況流量，即單位時(shí)間內實(shí)時(shí)溫度和壓力下流體流過(guò)管道橫截面的體積。小流量的代表單位一般為：ml/min和L/min。

 

　　標況流量：通過(guò)溫度、壓力補償后得到的體積流量。標況一般定義（1）壓力：1個(gè)大氣壓（101.325KPa）（2）溫度：0℃/15℃/20℃/25℃，具體溫度定義可自選。易度流量控制器默認(25℃,101.325KPa)，單位一般為：SCCM和SLPM。

 

　　質(zhì)量流量：?jiǎn)挝粫r(shí)間內流體流過(guò)管道橫截面的質(zhì)量。易度質(zhì)量流量控制器測量出的是標況流量，需要計算氣體實(shí)際質(zhì)量時(shí)，可用密度乘以標況流量即可得出。

 

　　瞬時(shí)流量：當時(shí)間很短時(shí)，流體流過(guò)一定截面的量稱(chēng)為瞬時(shí)流量。

 

　　累計流量：氣體通過(guò)某一截面的瞬時(shí)流量在一定時(shí)間內的累積值。

 

　　設定流量：質(zhì)量流量控制器專(zhuān)用術(shù)語(yǔ)，MFC通過(guò)控制比例調節閥的開(kāi)度使得流體流量穩定在某一固定流量值，設定流量一般為標況流量。